超纯水处理设备即电去离子系统，电渗析膜分离技术与离子交换技术有机地结合起来的一种新的制备超纯水（高纯水）的技术，它利用电渗析过程中的极化现象对填充在淡水室中的离子交换树脂进行电化学再生。该设备主要是在直流电场的作用下，通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯。
超纯水是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术（电渗析技术）相结合的纯水制造技术。该技术利用离子交换能深度脱盐来克服电渗析极化而脱盐不彻底，又利用电渗析极化而发生水电离产生H+和OH-，这些离子对离子交换树脂进行连续再生，以使离子交换树脂保持好状态。
膜堆主要由交替排列的阳离子交换膜、浓水室、阴离子交换膜、淡水室和正、负电极组成。离子交换树脂充夹在阴阳离子交换膜之间形成单个处理单元，并构成淡水室，单元与单元之间用网状物隔开，形成浓水室。在直流电场的作用下，淡水室中离子交换树脂中的阳离子和阴离子沿树脂和膜构成的通道分别向负极和正极方向迁移，阳离子透过阳离子交换膜，阴离子透过阴离子交换膜，分别进入浓水室形成浓水。同时进水中的阳离子和阴离子跟离子交换树脂中的氢离子和氢氧根离子交换，形成超纯水（高纯水）。电流使水电解产生的大量氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行连续的再生。传统的离子交换，离子交换树脂饱和后需要化学间歇再生。而膜堆中的树脂通过水的电解连续再生，工作是连续的，不需要酸碱化学再生。
装置将给水分成三股独立的水流：纯水、浓水、和极水。纯水（90%-95%）为终得出水，浓水（5%-10%）可以再循环处理，极水（1%）排放掉。
装置不需要化学再生，可连续运行，进而不需要传统水处理工艺的混合离子交换设备再生所需的酸碱液，以及再生所排放的废水。其主要特点如下：
净水基本过程：（1）连续运行，产品水水质稳定（2）容易实现全自动控制（3）无须用酸碱再生（4）不会因再生而停机，节省了再生用水及再生污水处理设施（5）产水率高（可达95%）。
装置属于精处理水系统，一般多与反渗透（RO）配合使用，组成预处理、反渗透、装置的超纯水处理系统，取代了传统水处理工艺的混合离子交换设备。装置进水要求为电阻率为0.025-0.5MΩ·cm，反渗透装置完全可以满足要求。装置可生产电阻率高达15MΩ·cm以上的超纯水。
对于高纯水系统，无论从产水质量、性能和操作等方面考虑，还是从运行费用和环保等方面考虑，反渗透+纯水工艺都是一个理想的选择。
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